プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

• Material Type: 図書
• Title: プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発
• Title Transcription: プラズマプロセス ニ オケル サブナノ リュウシ ノ ソノ バ ソクテイホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 渡辺, 征夫, 九州大学
• Author Heading: 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: クラスター クラスター; 微粒子 ビリユウシ; ダスト ダスト; 光電子放出 コウデンシホウシユツ; 光電離 ヒカリデンリ; 光脱離 ヒカリダツリ; シリコン シリコン; シランプラズマ シランプラズマ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08555019
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08555019
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007013264; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013264
• Bibliographic Record Category (NDL): 214