次世代超LSI製造用高速サブナノ位置決めテーブルシステムの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 次世代超LSI製造用高速サブナノ位置決めテーブルシステムの開発
• タイトルよみ: ジセダイ チョウ LSI セイゾウヨウ コウソク サブナノ イチギメ テーブル システム ノ カイハツ
• 著者・編者: 新野, 秀憲, 東京工業大学
• 著者標目: 著者 ： 新野, 秀憲 シンノ, ヒデノリ ( 01070283 )典拠; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク ( 00259309 )典拠
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: テーブルシステム テーブルシステム; 位置決め制御 イチギメセイギヨ; LSI製造装置 LSIセイゾウソウチ; 高速サブナノ位置決め コウソクサブナノイチギメ; リニアモータ リニアモータ; レーザーフイードバツク レーザーフイードバツク; 運動精度 ウンドウセイド; シミユレーシヨン シミユレーシヨン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08555033
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08555033
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007013277; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013277
• 整理区分コード: 214