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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ジセダイ チョウ LSI セイゾウヨウ コウソク サブナノ イチギメ テーブル システム ノ カイハツ
- 著者・編者
- 新野, 秀憲, 東京工業大学
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年（W3CDTF）
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- テーブルシステム テーブルシステム位置決め制御 イチギメセイギヨLSI製造装置 LSIセイゾウソウチ高速サブナノ位置決め コウソクサブナノイチギメリニアモータ リニアモータレーザーフイードバツク レーザーフイードバツク運動精度 ウンドウセイドシミユレーシヨン シミユレーシヨン
- NDLC
- 一般注記
- 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
- 科研費課題番号
- 08555033
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- Y151-H08555033
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
- 書誌ID（NDLBibID）
- 000007013277
- 整理区分コード
- 214