次世代超LSI製造用高速サブナノ位置決めテーブルシステムの開発

• Material Type: 図書
• Title: 次世代超LSI製造用高速サブナノ位置決めテーブルシステムの開発
• Title Transcription: ジセダイ チョウ LSI セイゾウヨウ コウソク サブナノ イチギメ テーブル システム ノ カイハツ
• Author/Editor: 新野, 秀憲, 東京工業大学
• Author Heading: 著者 ： 新野, 秀憲 シンノ, ヒデノリ ( 01070283 )Authorities; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク ( 00259309 )Authorities
• Publication Date: 1996-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: テーブルシステム テーブルシステム; 位置決め制御 イチギメセイギヨ; LSI製造装置 LSIセイゾウソウチ; 高速サブナノ位置決め コウソクサブナノイチギメ; リニアモータ リニアモータ; レーザーフイードバツク レーザーフイードバツク; 運動精度 ウンドウセイド; シミユレーシヨン シミユレーシヨン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08555033
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08555033
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007013277; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013277
• Bibliographic Record Category (NDL): 214