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結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究

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結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H08555034
国立国会図書館書誌ID
000007013278
資料種別
図書
著者
明田川, 正人, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1996-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ケッショウ ゴウシ オ スケール ト スル サブナノメートルソクチョウ ・ カコウキ ノ カイハツ ケンキュウ
著者・編者
明田川, 正人, 長岡技術科学大学
著者標目
明田川, 正人 アケタガワ, マサト
出版年月日等
1996-1998
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
走査型トンネル顕微鏡 (STM) ソウサガタトンネルケンビキヨウ (STM)
比較測長 ヒカクソクチヨウ
結晶格子 ケツシヨウコウシ
ナノメートル ナノメートル
熱ドリフト ネツドリフト
極低熱膨張ガラス キヨクテイネツボウチヨウガラス
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
ロツクインアンプ ロツクインアンプ