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結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究

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結晶格子をスケールとするサブナノメートル測長・加工機の開発研究

Call No. (NDL)
Y151-H08555034
Bibliographic ID of National Diet Library
000007013278
Material type
図書
Author
明田川, 正人, 長岡技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1996-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ケッショウ ゴウシ オ スケール ト スル サブナノメートルソクチョウ ・ カコウキ ノ カイハツ ケンキュウ
Author/Editor
明田川, 正人, 長岡技術科学大学
Author Heading
明田川, 正人 アケタガワ, マサト
Publication Date
1996-1998
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
走査型トンネル顕微鏡 (STM) ソウサガタトンネルケンビキヨウ (STM)
比較測長 ヒカクソクチヨウ
結晶格子 ケツシヨウコウシ
ナノメートル ナノメートル
熱ドリフト ネツドリフト
極低熱膨張ガラス キヨクテイネツボウチヨウガラス
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
ロツクインアンプ ロツクインアンプ