光フアイバを用いた膜厚測定用フオトメカニカルセンサの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 光フアイバを用いた膜厚測定用フオトメカニカルセンサの開発
• タイトルよみ: ヒカリフアイバ オ モチイタ マクアツ ソクテイヨウ フオトメカニカルセンサ ノ カイハツ
• 著者・編者: 熊崎, 裕教, 岐阜工業高等専門学校
• 著者標目: 熊崎, 裕教 クマザキ, ヒロノリ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 光学センサ コウガクセンサ; 動的膜厚測定 ドウテキマクアツソクテイ; イオンスパツタ装置 イオンスパツタソウチ; 石英コア振動子 セキエイコアシンドウシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08555061
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08555061
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007013302; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013302
• 整理区分コード: 214