光フアイバを用いた膜厚測定用フオトメカニカルセンサの開発

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Material Type: 図書
Title: 光フアイバを用いた膜厚測定用フオトメカニカルセンサの開発
Title Transcription: ヒカリフアイバオモチイタマクアツソクテイヨウフオトメカニカルセンサノカイハツ
Author/Editor: 熊崎, 裕教, 岐阜工業高等専門学校
Author Heading: 熊崎, 裕教クマザキ, ヒロノリ
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 光学センサコウガクセンサ
動的膜厚測定ドウテキマクアツソクテイ
イオンスパツタ装置イオンスパツタソウチ
石英コア振動子セキエイコアシンドウシ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08555061
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08555061
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007013302
http://id.ndl.go.jp/bib/000007013302
Bibliographic Record Category (NDL): 214