超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発
• タイトルよみ: チョウコウシンクウ ヒセッショク ・ ヒハカイ ヨウリョウ-デンアツ ソクテイ システム ノ カイハツ
• 著者・編者: 長谷川, 英機, 北海道大学
• 著者標目: 長谷川, 英機 ハセガワ, ヒデキ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 非接触・C-V ヒセツシヨク・C-V; 超高真空一貫システム チヨウコウシンクウイツカンシステム; 表面・界面準位 ヒヨウメン・カイメンジユンイ; 表面プロセス ヒヨウメンプロセス; フエルミ準位ピンニング フエルミジユンイピンニング; 水素終端シリコン表面 スイソシユウタンシリコンヒヨウメン; 極博絶縁膜 キヨクハクゼツエンマク; ECRプラズマ ECRプラズマ; 酸窒化膜 サンチツカマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08555072
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08555072
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007013312; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013312
• 整理区分コード: 214