超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

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Material Type: 図書
Title: 超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発
Title Transcription: チョウコウシンクウヒセッショク・ヒハカイヨウリョウ-デンアツソクテイシステムノカイハツ
Author/Editor: 長谷川, 英機, 北海道大学
Author Heading: 長谷川, 英機ハセガワ, ヒデキ
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 非接触・C-V ヒセツシヨク・C-V
超高真空一貫システムチヨウコウシンクウイツカンシステム
表面・界面準位ヒヨウメン・カイメンジユンイ
表面プロセスヒヨウメンプロセス
フエルミ準位ピンニングフエルミジユンイピンニング
水素終端シリコン表面スイソシユウタンシリコンヒヨウメン
極博絶縁膜キヨクハクゼツエンマク
ECRプラズマ ECRプラズマ
酸窒化膜サンチツカマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08555072
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08555072
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007013312
http://id.ndl.go.jp/bib/000007013312
Bibliographic Record Category (NDL): 214