電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作
• タイトルよみ: デンリョクヨウ デバイス ゼツエン ホウネツ ニ テキシタ チッカ アルミニウムマク セイセイ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ノ シサク
• 著者・編者: 榊原, 建樹, 豊橋技術科学大学
• 著者標目: 榊原, 建樹 サカキバラ, タテキ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 窒化アルミニウム チツカアルミニウム; 真空アーク シンクウアーク; アーク蒸着装置 アークジヨウチヤクソウチ; 酸化チタン膜 サンカチタンマク; 質量・イオンエネルギー分析 シツリヨウ・イオンエネルギーブンセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08555075
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08555075
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007013315; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013315
• 整理区分コード: 214