電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作

• Material Type: 図書
• Title: 電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作
• Title Transcription: デンリョクヨウ デバイス ゼツエン ホウネツ ニ テキシタ チッカ アルミニウムマク セイセイ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ノ シサク
• Author/Editor: 榊原, 建樹, 豊橋技術科学大学
• Author Heading: 榊原, 建樹 サカキバラ, タテキ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 窒化アルミニウム チツカアルミニウム; 真空アーク シンクウアーク; アーク蒸着装置 アークジヨウチヤクソウチ; 酸化チタン膜 サンカチタンマク; 質量・イオンエネルギー分析 シツリヨウ・イオンエネルギーブンセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08555075
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08555075
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007013315; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013315
• Bibliographic Record Category (NDL): 214