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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- プラズマ CVD ニ ヨル トウメイ ・ コウシツ ナ チョウハッスイセイ ハクマク ノ サクセイ
- 著者・編者
- 高井, 治, 名古屋大学
- 著者標目
- 高井, 治 タカイ, オサム
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年（W3CDTF）
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
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