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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- プラズマ CVD ニ ヨル トウメイ ・ コウシツ ナ チョウハッスイセイ ハクマク ノ サクセイ
- Author/Editor
- 高井, 治, 名古屋大学
- Author Heading
- 高井, 治 タカイ, オサム
- Publication Date
- 1996-1997
- Publication Date (W3CDTF)
- 1996
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)