変形マグネトロン型プラズマ源の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 変形マグネトロン型プラズマ源の開発
• タイトルよみ: ヘンケイ マグネトロンガタ プラズマ ゲン ノ カイハツ
• 著者・編者: 佐藤徳芳, 東北大学
• 著者標目: 佐藤, 徳芳 サトウ, ノリヨシ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996; 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 大面積プラズマ ダイメンセキプラズマ; 均一プラズマ キンイツプラズマ; 高周波放電 コウシユウハホウデン; 変形マグネトロン型放電 ヘンケイマグネトロンガタホウデン; 大口径プラズマ ダイコウケイプラズマ; 高密度プラズマ コウミツドプラズマ; マグネツトリング マグネツトリング; LC共振放電 LCキヨウシンホウデン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08558043
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08558043
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007013715; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013715
• 整理区分コード: 214