変形マグネトロン型プラズマ源の開発

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Material Type: 図書
Title: 変形マグネトロン型プラズマ源の開発
Title Transcription: ヘンケイマグネトロンガタプラズマゲンノカイハツ
Author/Editor: 佐藤徳芳, 東北大学
Author Heading: 佐藤, 徳芳サトウ, ノリヨシ
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 大面積プラズマダイメンセキプラズマ
均一プラズマキンイツプラズマ
高周波放電コウシユウハホウデン
変形マグネトロン型放電ヘンケイマグネトロンガタホウデン
大口径プラズマダイコウケイプラズマ
高密度プラズマコウミツドプラズマ
マグネツトリングマグネツトリング
LC共振放電 LCキヨウシンホウデン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08558043
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08558043
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007013715
http://id.ndl.go.jp/bib/000007013715
Bibliographic Record Category (NDL): 214