変形マグネトロン型プラズマ源の開発

• Material Type: 図書
• Title: 変形マグネトロン型プラズマ源の開発
• Title Transcription: ヘンケイ マグネトロンガタ プラズマ ゲン ノ カイハツ
• Author/Editor: 佐藤徳芳, 東北大学
• Author Heading: 佐藤, 徳芳 サトウ, ノリヨシ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996; 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 大面積プラズマ ダイメンセキプラズマ; 均一プラズマ キンイツプラズマ; 高周波放電 コウシユウハホウデン; 変形マグネトロン型放電 ヘンケイマグネトロンガタホウデン; 大口径プラズマ ダイコウケイプラズマ; 高密度プラズマ コウミツドプラズマ; マグネツトリング マグネツトリング; LC共振放電 LCキヨウシンホウデン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08558043
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08558043
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007013715; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013715
• Bibliographic Record Category (NDL): 214