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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコン ヒョウメン ノ セイミツ セイギョ ニ ヨル アルミニウムキョク ビサイセン ノ ジコ ソシキテキ ケイセイ
- 著者・編者
- 坂上, 弘之, 広島大学
- 著者標目
- 坂上, 弘之 サカウエ, ヒロユキ
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年(W3CDTF)
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 水素終端シリコン表面 スイソシユウタンシリコンヒヨウメンステツプ/テラス構造 ステツプ/テラスコウゾウ平坦化処理 ヘイタンカシヨリAl微細構造 ALビサイコウゾウDMAlH DMALH選択反応 センタクハンノウ