シリコン表面の精密制御によるアルミニウム極微細線の自己組織的形成

• Material Type: 図書
• Title: シリコン表面の精密制御によるアルミニウム極微細線の自己組織的形成
• Title Transcription: シリコン ヒョウメン ノ セイミツ セイギョ ニ ヨル アルミニウムキョク ビサイセン ノ ジコ ソシキテキ ケイセイ
• Author/Editor: 坂上, 弘之, 広島大学
• Author Heading: 坂上, 弘之 サカウエ, ヒロユキ
• Publication Date: 1996-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 水素終端シリコン表面 スイソシユウタンシリコンヒヨウメン; ステツプ/テラス構造 ステツプ/テラスコウゾウ; 平坦化処理 ヘイタンカシヨリ; Al微細構造 ALビサイコウゾウ; DMAlH DMALH; 選択反応 センタクハンノウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650034
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08650034
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007014653; http://id.ndl.go.jp/bib/000007014653
• Bibliographic Record Category (NDL): 214