半導体-金属原子界面層の高電場顕微鏡による評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体-金属原子界面層の高電場顕微鏡による評価
• タイトルよみ: ハンドウタイ-キンゾク ゲンシ カイメンソウ ノ コウデンバ ケンビキョウ ニ ヨル ヒョウカ
• 著者・編者: 奥野, 公夫, 長崎総合科学大学
• 著者標目: 奥野, 公夫 オクノ, キミオ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: シリコン シリコン; 界面 カイメン; 超薄膜層 チヨウハクマクソウ; 電界脱離 デンカイダツリ; 半導体薄膜 ハンドウタイハクマク; 電界イオン顕微鏡 デンカイイオンケンビキヨウ; 電界放射 デンカイホウシヤ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08650039
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08650039
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007014656; http://id.ndl.go.jp/bib/000007014656
• 整理区分コード: 214