半導体-金属原子界面層の高電場顕微鏡による評価

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Material Type: 図書
Title: 半導体-金属原子界面層の高電場顕微鏡による評価
Title Transcription: ハンドウタイ-キンゾクゲンシカイメンソウノコウデンバケンビキョウニヨルヒョウカ
Author/Editor: 奥野, 公夫, 長崎総合科学大学
Author Heading: 奥野, 公夫オクノ, キミオ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: シリコンシリコン
界面カイメン
超薄膜層チヨウハクマクソウ
電界脱離デンカイダツリ
半導体薄膜ハンドウタイハクマク
電界イオン顕微鏡デンカイイオンケンビキヨウ
電界放射デンカイホウシヤ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650039
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08650039
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007014656
http://id.ndl.go.jp/bib/000007014656
Bibliographic Record Category (NDL): 214