超小型精密自走機械による機械加工と物理蒸着の融合微細加工法の基礎的研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超小型精密自走機械による機械加工と物理蒸着の融合微細加工法の基礎的研究
• タイトルよみ: チョウコガタ セイミツジソウ キカイ ニ ヨル キカイ カコウ ト ブツリ ジョウチャク ノ ユウゴウ ビサイ カコウホウ ノ キソテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 青山尚之, 電気通信大学
• 著者標目: 青山, 尚之 アオヤマ, ヒサユキ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996; 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 超小型機械 チヨウコガタキカイ; 微細加工 ビサイカコウ; 蒸着 ジヨウチヤク; 精密位置決め セイミツイチギメ; 半導体材料 ハンドウタイザイリヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08650131
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08650131
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007014710; http://id.ndl.go.jp/bib/000007014710
• 整理区分コード: 214