超小型精密自走機械による機械加工と物理蒸着の融合微細加工法の基礎的研究

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Material Type: 図書
Title: 超小型精密自走機械による機械加工と物理蒸着の融合微細加工法の基礎的研究
Title Transcription: チョウコガタセイミツジソウキカイニヨルキカイカコウトブツリジョウチャクノユウゴウビサイカコウホウノキソテキケンキュウ
Author/Editor: 青山尚之, 電気通信大学
Author Heading: 青山, 尚之アオヤマ, ヒサユキ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 超小型機械チヨウコガタキカイ
微細加工ビサイカコウ
蒸着ジヨウチヤク
精密位置決めセイミツイチギメ
半導体材料ハンドウタイザイリヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650131
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08650131
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007014710
http://id.ndl.go.jp/bib/000007014710
Bibliographic Record Category (NDL): 214