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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ケイジョウ キオク ゴウキン ノ スパッタ ハクマク オ モチイタ レーザ クドウ マイクロマシン ノ カイハツ
- 著者・編者
- 熊崎裕教, 岐阜工業高等専門学校
- 著者標目
- 熊崎, 裕教 クマザキ, ヒロノリ
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年(W3CDTF)
- 19961997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 光学式アクチユエーター コウガクシキアクチユエーターマイクロマシン マイクロマシン形状記憶合金 ケイジヨウキオクゴウキンイオンスパツタリング イオンスパツタリング