形状記憶合金のスパッタ薄膜を用いたレーザ駆動マイクロマシンの開発

• Material Type: 図書
• Title: 形状記憶合金のスパッタ薄膜を用いたレーザ駆動マイクロマシンの開発
• Title Transcription: ケイジョウ キオク ゴウキン ノ スパッタ ハクマク オ モチイタ レーザ クドウ マイクロマシン ノ カイハツ
• Author/Editor: 熊崎裕教, 岐阜工業高等専門学校
• Author Heading: 熊崎, 裕教 クマザキ, ヒロノリ
• Publication Date: 1996-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1996; 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 光学式アクチユエーター コウガクシキアクチユエーター; マイクロマシン マイクロマシン; 形状記憶合金 ケイジヨウキオクゴウキン; イオンスパツタリング イオンスパツタリング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650322
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08650322
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007014804; http://id.ndl.go.jp/bib/000007014804
• Bibliographic Record Category (NDL): 214