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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シュウセキ デンシ カイロ ニ オケル コウハイコウ ハクマク ハイセンソウ ノ エピタキシヤル セイチョウ ニ ヨル サクセイ
- 著者・編者
- 野矢, 厚, 北見工業大学
- 著者標目
- 野矢, 厚 ノヤ, アツシ
- 出版年月日等
- 1996-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 集積回路 シユウセキカイロ高配向薄膜 コウハイコウハクマク金属-半導体コンタクト キンゾクーハンドウタイコンタクトエピタキシヤル エピタキシヤル