集積電子回路における高配向薄膜配線層のエピタキシヤル成長による作製

• Material Type: 図書
• Title: 集積電子回路における高配向薄膜配線層のエピタキシヤル成長による作製
• Title Transcription: シュウセキ デンシ カイロ ニ オケル コウハイコウ ハクマク ハイセンソウ ノ エピタキシヤル セイチョウ ニ ヨル サクセイ
• Author/Editor: 野矢, 厚, 北見工業大学
• Author Heading: 野矢, 厚 ノヤ, アツシ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 集積回路 シユウセキカイロ; 高配向薄膜 コウハイコウハクマク; 金属-半導体コンタクト キンゾクーハンドウタイコンタクト; エピタキシヤル エピタキシヤル
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650361
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08650361
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007014827; http://id.ndl.go.jp/bib/000007014827
• Bibliographic Record Category (NDL): 214