マイクロマシニング材料としての多結晶炭化珪素薄膜の作製と応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロマシニング材料としての多結晶炭化珪素薄膜の作製と応用
• タイトルよみ: マイクロマシニング ザイリョウ ト シテ ノ タケッショウ タンカ ケイソ ハクマク ノ サクセイ ト オウヨウ
• 著者・編者: 上村, 喜一, 信州大学
• 著者標目: 上村, 喜一 カミムラ, キイチ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 炭化珪素 タンカケイソ; マイクロマシニン マイクロマシニン; センサ センサ; 圧力セン アツリヨクセン; 赤外光源 セキガイコウゲン; 耐環境性材料 タイカンキヨウセイザイリヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08650375
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08650375
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007014833; http://id.ndl.go.jp/bib/000007014833
• 整理区分コード: 214