マイクロマシニング材料としての多結晶炭化珪素薄膜の作製と応用

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: マイクロマシニング材料としての多結晶炭化珪素薄膜の作製と応用
Title Transcription: マイクロマシニングザイリョウトシテノタケッショウタンカケイソハクマクノサクセイトオウヨウ
Author/Editor: 上村, 喜一, 信州大学
Author Heading: 上村, 喜一カミムラ, キイチ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 炭化珪素タンカケイソ
マイクロマシニンマイクロマシニン
センサセンサ
圧力センアツリヨクセン
赤外光源セキガイコウゲン
耐環境性材料タイカンキヨウセイザイリヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650375
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08650375
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007014833
http://id.ndl.go.jp/bib/000007014833
Bibliographic Record Category (NDL): 214