遷移金属窒化物多層膜の弾性異常とその構造的要因

• 資料種別: 図書
• タイトル: 遷移金属窒化物多層膜の弾性異常とその構造的要因
• タイトルよみ: センイ キンゾク チッカブツ タソウマク ノ ダンセイ イジョウ ト ソノ コウゾウテキ ヨウイン
• 著者・編者: 中山, 則昭, 山口大学
• 著者標目: 中山, 則昭 ナカヤマ, ノリアキ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 窒化物 チツカブツ; 多層膜 タソウマク; 窒化クロム チツカクロム; 窒化炭素 チツカタンソ; 窒化チタン チツカチタン; 微小硬度 ビシヨウコウド; X線回折 Xセンカイセツ; 反応スパツタリング ハンノウスパツタリング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08650769
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08650769
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007015092; http://id.ndl.go.jp/bib/000007015092
• 整理区分コード: 214