遷移金属窒化物多層膜の弾性異常とその構造的要因

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Material Type: 図書
Title: 遷移金属窒化物多層膜の弾性異常とその構造的要因
Title Transcription: センイキンゾクチッカブツタソウマクノダンセイイジョウトソノコウゾウテキヨウイン
Author/Editor: 中山, 則昭, 山口大学
Author Heading: 中山, 則昭ナカヤマ, ノリアキ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 窒化物チツカブツ
多層膜タソウマク
窒化クロムチツカクロム
窒化炭素チツカタンソ
窒化チタンチツカチタン
微小硬度ビシヨウコウド
X線回折 Xセンカイセツ
反応スパツタリングハンノウスパツタリング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08650769
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08650769
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007015092
http://id.ndl.go.jp/bib/000007015092
Bibliographic Record Category (NDL): 214