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図書

高圧下でのスパツタ製膜法の開発

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高圧下でのスパツタ製膜法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H08650865
国立国会図書館書誌ID
000007015145
資料種別
図書
著者
浦尾, 亮一, 茨城大学
出版者
-
出版年
1996-1998
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
高圧下でのスパツタ製膜法の開発
タイトルよみ
コウアツカ デ ノ スパツタセイマクホウ ノ カイハツ
著者・編者
浦尾, 亮一, 茨城大学
著者標目
浦尾, 亮一 ウラオ, リョウイチ
出版年月日等
1996-1998
出版年（W3CDTF）
1996
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
プラズマ プラズマ
スパツタリング スパツタリング
イオン窒化 イオンチツカ
プラズマ窒化 プラズマチツカ
窒化 チツカ