高圧下でのスパツタ製膜法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高圧下でのスパツタ製膜法の開発
• タイトルよみ: コウアツカ デ ノ スパツタセイマクホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 浦尾, 亮一, 茨城大学
• 著者標目: 浦尾, 亮一 ウラオ, リョウイチ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: プラズマ プラズマ; スパツタリング スパツタリング; イオン窒化 イオンチツカ; プラズマ窒化 プラズマチツカ; 窒化 チツカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08650865
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08650865
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007015145; http://id.ndl.go.jp/bib/000007015145
• 整理区分コード: 214