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高圧下でのスパツタ製膜法の開発

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高圧下でのスパツタ製膜法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H08650865
Bibliographic ID of National Diet Library
000007015145
Material type
図書
Author
浦尾, 亮一, 茨城大学
Publisher
-
Publication date
1996-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウアツカ デ ノ スパツタセイマクホウ ノ カイハツ
Author/Editor
浦尾, 亮一, 茨城大学
Author Heading
浦尾, 亮一 ウラオ, リョウイチ
Publication Date
1996-1998
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
プラズマ プラズマ
スパツタリング スパツタリング
イオン窒化 イオンチツカ
プラズマ窒化 プラズマチツカ
窒化 チツカ