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先端半導体デバイスと材料の放射線損傷

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先端半導体デバイスと材料の放射線損傷

国立国会図書館請求記号
Y151-H09045063
国立国会図書館書誌ID
000007018062
資料種別
図書
著者
大山, 英典, 熊本電波工業高等専門学校
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
センタン ハンドウタイ デバイス ト ザイリョウ ノ ホウシャセン ソンショウ
著者・編者
大山, 英典, 熊本電波工業高等専門学校
著者標目
大山, 英典 オオヤマ, ヒデノリ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 国際学術研究
件名標目
半導体デバイス ハンドウタイデバイス
高エネルギー粒子線 コウエネルギーリユウシセン
放射線損傷 ホウシヤセンソンシヨウ
特性劣化 トクセイレツカ
格子欠陥 コウシケツカン
HEMT HEMT
InGaAs INGAAS
SiGe SIGE