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先端半導体デバイスと材料の放射線損傷

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先端半導体デバイスと材料の放射線損傷

Call No. (NDL)
Y151-H09045063
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018062
Material type
図書
Author
大山, 英典, 熊本電波工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
センタン ハンドウタイ デバイス ト ザイリョウ ノ ホウシャセン ソンショウ
Author/Editor
大山, 英典, 熊本電波工業高等専門学校
Author Heading
大山, 英典 オオヤマ, ヒデノリ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 国際学術研究
Subject Heading
半導体デバイス ハンドウタイデバイス
高エネルギー粒子線 コウエネルギーリユウシセン
放射線損傷 ホウシヤセンソンシヨウ
特性劣化 トクセイレツカ
格子欠陥 コウシケツカン
HEMT HEMT
InGaAs INGAAS
SiGe SIGE