ダイヤモンド合成用マルチアノード型アーク放電プラズマジエツトCVD装置の試作

• 資料種別: 図書
• タイトル: ダイヤモンド合成用マルチアノード型アーク放電プラズマジエツトCVD装置の試作
• タイトルよみ: ダイヤモンド ゴウセイヨウ マルチアノードガタ アーク ホウデン プラズマジエツト CVD ソウチ ノ シサク
• 著者・編者: 吉川, 昌範, 東京工業大学
• 著者標目: 吉川, 昌範 ヨシカワ, マサノリ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: アーク放電 アークホウデン; プラズマジエツト プラズマジエツト; ダイヤモンド ダイヤモンド; 気相合成 キソウゴウセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09355005
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09355005
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007018117; http://id.ndl.go.jp/bib/000007018117
• 整理区分コード: 214