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図書

ダイヤモンド合成用マルチアノード型アーク放電プラズマジエツトCVD装置の試作

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ダイヤモンド合成用マルチアノード型アーク放電プラズマジエツトCVD装置の試作

Call No. (NDL)
Y151-H09355005
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018117
Material type
図書
Author
吉川, 昌範, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ダイヤモンド ゴウセイヨウ マルチアノードガタ アーク ホウデン プラズマジエツト CVD ソウチ ノ シサク
Author/Editor
吉川, 昌範, 東京工業大学
Author Heading
吉川, 昌範 ヨシカワ, マサノリ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
アーク放電 アークホウデン
プラズマジエツト プラズマジエツト
ダイヤモンド ダイヤモンド
気相合成 キソウゴウセイ