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電流と応力による原子マイグレーシヨン競合下のLSI微細配線の破壊機構の解明

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電流と応力による原子マイグレーシヨン競合下のLSI微細配線の破壊機構の解明

国立国会図書館請求記号
Y151-H09450049
国立国会図書館書誌ID
000007018280
資料種別
図書
著者
北村, 隆行, 京都大学
出版者
-
出版年
1997-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンリュウ ト オウリョク ニ ヨル ゲンシ マイグレーシヨン キョウゴウ カ ノ LSI ビサイ ハイセン ノ ハカイ キコウ ノ カイメイ
著者・編者
北村, 隆行, 京都大学
著者標目
北村, 隆行 キタムラ, タカユキ
出版年月日等
1997-1997
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン
ストレスマイグレーシヨン ストレスマイグレーシヨン
LSI配線 LSIハイセン
破壊機構 ハカイキコウ
拡散 カクサン
数値シミユレーシヨン スウチシミユレーシヨン
キヤビテイ キヤビテイ
信頼性 シンライセイ