電流と応力による原子マイグレーシヨン競合下のLSI微細配線の破壊機構の解明

• Material Type: 図書
• Title: 電流と応力による原子マイグレーシヨン競合下のLSI微細配線の破壊機構の解明
• Title Transcription: デンリュウ ト オウリョク ニ ヨル ゲンシ マイグレーシヨン キョウゴウ カ ノ LSI ビサイ ハイセン ノ ハカイ キコウ ノ カイメイ
• Author/Editor: 北村, 隆行, 京都大学
• Author Heading: 北村, 隆行 キタムラ, タカユキ
• Publication Date: 1997-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン; ストレスマイグレーシヨン ストレスマイグレーシヨン; LSI配線 LSIハイセン; 破壊機構 ハカイキコウ; 拡散 カクサン; 数値シミユレーシヨン スウチシミユレーシヨン; キヤビテイ キヤビテイ; 信頼性 シンライセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450049
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09450049
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007018280; http://id.ndl.go.jp/bib/000007018280
• Bibliographic Record Category (NDL): 214