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ナノテクノロジー支援のための超精密加工シエルターの開発

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ナノテクノロジー支援のための超精密加工シエルターの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H09450059
国立国会図書館書誌ID
000007018287
資料種別
図書
著者
田辺, 郁男, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノテクノロジー シエン ノ タメ ノ チョウセイミツ カコウ シエルター ノ カイハツ
著者・編者
田辺, 郁男, 長岡技術科学大学
著者標目
田辺, 郁男 タナベ, イクオ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
ナノテクノロジー ナノテクノロジー
超精密加工シエルター チヨウセイミツカコウシエルター
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
加工シエルター カコウシエルター
加工環境 カコウカンキヨウ
熱的安定 ネツテキアンテイ
熱伝達 ネツデンタツ
熱ドリフト ネツドリフト