ナノテクノロジー支援のための超精密加工シエルターの開発

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Material Type: 図書
Title: ナノテクノロジー支援のための超精密加工シエルターの開発
Title Transcription: ナノテクノロジーシエンノタメノチョウセイミツカコウシエルターノカイハツ
Author/Editor: 田辺, 郁男, 長岡技術科学大学
Author Heading: 田辺, 郁男タナベ, イクオ
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: ナノテクノロジーナノテクノロジー
超精密加工シエルターチヨウセイミツカコウシエルター
超精密加工チヨウセイミツカコウ
加工シエルターカコウシエルター
加工環境カコウカンキヨウ
熱的安定ネツテキアンテイ
熱伝達ネツデンタツ
熱ドリフトネツドリフト
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450059
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09450059
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007018287
http://id.ndl.go.jp/bib/000007018287
Bibliographic Record Category (NDL): 214