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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- カイメン セイギョ ニ ヨル シリコン キバン ジョウ ヘ ノ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ ヘテロエピタキシヤル セイチョウ
- 著者・編者
- 堀田, 将, 北陸先端科学技術大学院大学
- 著者標目
- 堀田, 将 ホリタ, ススム
- 出版年月日等
- 1997-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- ジルコン酸チタン酸鉛 ジルコンサンチタンサンナマリシリコン シリコン強誘電体 キヨウユウデンタイイツトリア安定化ジルコニア イツトリアアンテイカジルコニア反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリングヘテロエピタキシヤル成長 ヘテロエピタキシヤルセイチヨウ強誘電体メモリ キヨウユウデンタイメモリ