界面制御によるシリコン基板上への強誘電体薄膜のヘテロエピタキシヤル成長

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Material Type: 図書
Title: 界面制御によるシリコン基板上への強誘電体薄膜のヘテロエピタキシヤル成長
Title Transcription: カイメンセイギョニヨルシリコンキバンジョウヘノキョウユウデンタイハクマクノヘテロエピタキシヤルセイチョウ
Author/Editor: 堀田, 将, 北陸先端科学技術大学院大学
Author Heading: 堀田, 将ホリタ, ススム
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: ジルコン酸チタン酸鉛ジルコンサンチタンサンナマリ
シリコンシリコン
強誘電体キヨウユウデンタイ
イツトリア安定化ジルコニアイツトリアアンテイカジルコニア
反応性スパツタリングハンノウセイスパツタリング
ヘテロエピタキシヤル成長ヘテロエピタキシヤルセイチヨウ
強誘電体メモリキヨウユウデンタイメモリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450125
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09450125
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007018313
http://id.ndl.go.jp/bib/000007018313
Bibliographic Record Category (NDL): 214