パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発
• タイトルよみ: パルス チョウオンソク ゲンシジョウ サンソ ビーム オ リヨウ シタ Si ジョウオン サンカホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 梅野, 正隆, 大阪大学
• 著者標目: 梅野, 正隆 ウメノ, マサタカ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ; 低温酸化 テイオンサンカ; 宇宙環境 ウチユウカンキヨウ; シリコン シリコン; 酸化膜 サンカマク; ビーム酸化 ビームサンカ; 低地球軌道 テイチキユウキドウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09555004
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09555004
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007018819; http://id.ndl.go.jp/bib/000007018819
• 整理区分コード: 214