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パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

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パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H09555004
国立国会図書館書誌ID
000007018819
資料種別
図書
著者
梅野, 正隆, 大阪大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
パルス チョウオンソク ゲンシジョウ サンソ ビーム オ リヨウ シタ Si ジョウオン サンカホウ ノ カイハツ
著者・編者
梅野, 正隆, 大阪大学
著者標目
梅野, 正隆 ウメノ, マサタカ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ
低温酸化 テイオンサンカ
宇宙環境 ウチユウカンキヨウ
シリコン シリコン
酸化膜 サンカマク
ビーム酸化 ビームサンカ
低地球軌道 テイチキユウキドウ