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パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

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パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H09555004
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018819
Material type
図書
Author
梅野, 正隆, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
パルス チョウオンソク ゲンシジョウ サンソ ビーム オ リヨウ シタ Si ジョウオン サンカホウ ノ カイハツ
Author/Editor
梅野, 正隆, 大阪大学
Author Heading
梅野, 正隆 ウメノ, マサタカ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ
低温酸化 テイオンサンカ
宇宙環境 ウチユウカンキヨウ
シリコン シリコン
酸化膜 サンカマク
ビーム酸化 ビームサンカ
低地球軌道 テイチキユウキドウ