光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用
• タイトルよみ: コウガク チョウハクマク ヘンコウ ソシ ノ カイハツ ト ナン Xセン エリプソメトリー ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 山本, 正樹, 東北大学
• 著者標目: 山本, 正樹 ヤマモト, マサキ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 軟X線 ナンXセン; エリプソメトリー エリプソメトリー; 偏光解析法 ヘンコウカイセキホウ; 多層膜 タソウマク; 偏光子 ヘンコウシ; 移相子 イアイコ; 位相子 イアイコ; 超薄膜 チヨウハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09555007
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09555007
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007018822; http://id.ndl.go.jp/bib/000007018822
• 整理区分コード: 214