図書

光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用

Icons representing 図書

光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用

Call No. (NDL)
Y151-H09555007
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018822
Material type
図書
Author
山本, 正樹, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウガク チョウハクマク ヘンコウ ソシ ノ カイハツ ト ナン Xセン エリプソメトリー ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
山本, 正樹, 東北大学
Author Heading
山本, 正樹 ヤマモト, マサキ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
軟X線 ナンXセン
エリプソメトリー エリプソメトリー
偏光解析法 ヘンコウカイセキホウ
多層膜 タソウマク
偏光子 ヘンコウシ
移相子 イアイコ
位相子 イアイコ
超薄膜 チヨウハクマク