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図書

光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用

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光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用

Call No. (NDL)
Y151-H09555007
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018822
Material type
図書
Author
山本, 正樹, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウガク チョウハクマク ヘンコウ ソシ ノ カイハツ ト ナン Xセン エリプソメトリー ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
山本, 正樹, 東北大学
Author Heading
山本, 正樹 ヤマモト, マサキ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
軟X線 ナンXセン
エリプソメトリー エリプソメトリー
偏光解析法 ヘンコウカイセキホウ
多層膜 タソウマク
偏光子 ヘンコウシ
移相子 イアイコ
位相子 イアイコ
超薄膜 チヨウハクマク