走査容量顕微鏡を用いた半導体ナノスケール材料・デバイス評価技術の開発に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 走査容量顕微鏡を用いた半導体ナノスケール材料・デバイス評価技術の開発に関する研究
• タイトルよみ: ソウサ ヨウリョウ ケンビキョウ オ モチイタ ハンドウタイ ナノスケール ザイリョウ ・ デバイス ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 八百, 隆文, 東北大学
• 著者標目: 八百, 隆文 ヤオ, タカフミ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 走査容量顕微鏡 (SCaM) ソウサヨウリヨウケンビキヨウ (SCAM); 局所電気特性評価 キヨクシヨデンキトクセイヒヨウカ; 原子間力顕微鏡 (AFM) ゲンシカンリヨクケンビキヨウ (AFM); 走査トンネル顕微鏡 (STM) ソウサトンネルケンビキヨウ (STM); MOS構造 MOSコウゾウ; 電荷蓄積 デンカチクセキ; メモリー メモリー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09555093
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09555093
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007018863; http://id.ndl.go.jp/bib/000007018863
• 整理区分コード: 214