走査容量顕微鏡を用いた半導体ナノスケール材料・デバイス評価技術の開発に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 走査容量顕微鏡を用いた半導体ナノスケール材料・デバイス評価技術の開発に関する研究
• Title Transcription: ソウサ ヨウリョウ ケンビキョウ オ モチイタ ハンドウタイ ナノスケール ザイリョウ ・ デバイス ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 八百, 隆文, 東北大学
• Author Heading: 八百, 隆文 ヤオ, タカフミ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 走査容量顕微鏡 (SCaM) ソウサヨウリヨウケンビキヨウ (SCAM); 局所電気特性評価 キヨクシヨデンキトクセイヒヨウカ; 原子間力顕微鏡 (AFM) ゲンシカンリヨクケンビキヨウ (AFM); 走査トンネル顕微鏡 (STM) ソウサトンネルケンビキヨウ (STM); MOS構造 MOSコウゾウ; 電荷蓄積 デンカチクセキ; メモリー メモリー
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555093
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09555093
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007018863; http://id.ndl.go.jp/bib/000007018863
• Bibliographic Record Category (NDL): 214