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プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

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プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H09555215
国立国会図書館書誌ID
000007018918
資料種別
図書
著者
寺嶋, 和夫, 東京大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プラズマ カンキョウ STM ノ カイハツ ト ソノ プラズマ ザイリョウ ヒョウメン プロセス ゲンシ スケール セイギョ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
寺嶋, 和夫, 東京大学
著者標目
著者 : 寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )典拠
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
プラズマ環境 プラズマカンキヨウ
STM STM
格子像 コウシゾウ
プラズマー個体界面 プラズマーコタイカイメン
プラズマ材料表面プロセシング プラズマザイリヨウヒヨウメンプロセシング
エツチング エツチング