プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

• Material Type: 図書
• Title: プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用
• Title Transcription: プラズマ カンキョウ STM ノ カイハツ ト ソノ プラズマ ザイリョウ ヒョウメン プロセス ゲンシ スケール セイギョ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 寺嶋, 和夫, 東京大学
• Author Heading: 著者 ： 寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )Authorities
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: プラズマ環境 プラズマカンキヨウ; STM STM; 格子像 コウシゾウ; プラズマー個体界面 プラズマーコタイカイメン; プラズマ材料表面プロセシング プラズマザイリヨウヒヨウメンプロセシング; エツチング エツチング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555215
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09555215
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007018918; http://id.ndl.go.jp/bib/000007018918
• Bibliographic Record Category (NDL): 214