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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- スイソ ラジカル シエン プラズマ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル リッポウショウ タンカ ケイソ ケッショウ ノ テイオン セイチョウ
- 著者・編者
- 安井, 寛治, 長岡技術科学大学
- 著者標目
- 安井, 寛治 ヤスイ, カンジ
- 出版年月日等
- 1997-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 水素ラジカル スイソラジカルプラズマ化学気相成長法 プラズマカガクキソウセイチヨウホウ立方晶炭素ケイ素 リツポウシヨウタンソケイソ